X熒光光譜儀的工作原理我們?cè)谝韵伦龊唵蔚年U述：
X熒光光譜儀主要是有激發(fā)源（X射線管）和探測(cè)系統(tǒng)兩大部分構(gòu)成。其實(shí)通過X射線管產(chǎn)生入射X射線（一次性X射線）來激發(fā)被測(cè)樣品。被激發(fā)樣品中的元素便會(huì)放射出二次X射線（即X熒光），不同元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特征和波長特征，探測(cè)系統(tǒng)則通過測(cè)量這些不同元素所放射出的X熒光的能量、數(shù)量或者波長，通過X熒光光譜儀的分析系統(tǒng)將所收集的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各元素的種類以及含量來進(jìn)行定性或者定量分析。元素的原子受到高能輻射激發(fā)而引起內(nèi)層電子的躍遷，同時(shí)發(fā)射出具有一定特殊性波長的X射線，因此,只要測(cè)出熒光X射線的波長或者能量,就可以知道元素的種類，這就是熒光X射線定性分析的基礎(chǔ)。
X射線熒光的強(qiáng)度與相應(yīng)元素的含量有一定的關(guān)系，據(jù)此我們可以對(duì)檢測(cè)元素進(jìn)行定量分析。我們?cè)谟肵射線照射被測(cè)樣品時(shí)，測(cè)樣可以被激發(fā)出各種波長的X射線熒光，我們需要把混合的X射線按波長（或能量）分開，分別測(cè)量不同波長（或能量）的X射線的強(qiáng)度，以進(jìn)行定性和定量分析，據(jù)此原理我們使用的儀器叫X熒光光譜儀。
X熒光光譜儀又可分為：波長色散型和能量色散型以及WDX波長色散型三種。但市面上多為手持XRF和臺(tái)式EDXRF。
XRF用的物理原理，通過X射線穿透原子內(nèi)部電子，由外層電子補(bǔ)給產(chǎn)生的能量差來判斷屬于何種元素。所以它只能測(cè)元素而不能測(cè)化合物。
EDXRFX射線熒光出來后直接被檢測(cè)器收集，通過數(shù)模轉(zhuǎn)換得到結(jié)果。
EDXRFX射線熒光出來后直接被檢測(cè)器收集，通過數(shù)模轉(zhuǎn)換得到結(jié)果。
臺(tái)式X熒光光譜儀的優(yōu)缺點(diǎn)：
優(yōu)點(diǎn)：
1.分析速度快。一般2~5分鐘即可測(cè)定樣品中的待測(cè)元素。
2.可進(jìn)行無損檢測(cè)。在檢測(cè)過程中可進(jìn)行非接觸性檢測(cè)，不會(huì)接觸被測(cè)物品表面，所以不會(huì)引起被測(cè)物表面的化學(xué)狀態(tài)變化，也不會(huì)出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可進(jìn)行反復(fù)檢測(cè)，重現(xiàn)性好。
3.不受被檢物形態(tài)限制。小熒光光譜儀非接觸性的檢測(cè)方式可以檢測(cè)固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)甚至對(duì)于氣體也可分析（氣體密封在容器內(nèi)）。
缺點(diǎn)：
a） 無法進(jìn)行絕對(duì)分析，做定量分析時(shí)仍需標(biāo)樣輔助；
b） 對(duì)檢測(cè)輕元素的靈敏度要低一些；
c）容易受相互元素干擾和疊加峰影響；
臺(tái)式X熒光光譜儀的優(yōu)應(yīng)用領(lǐng)域：
X射線用于元素分析，是一種新的分析技術(shù)，但在經(jīng)過二十多年的探索以后，現(xiàn)在已完全成熟，X熒光光譜儀也被廣泛應(yīng)用于航空，環(huán)保，冶金、地質(zhì)、有色、建材、商檢、衛(wèi)生、教學(xué)、化學(xué)、環(huán)境和生物學(xué)等等各個(gè)領(lǐng)域，X熒光光譜儀現(xiàn)已成為各個(gè)領(lǐng)域早為常見的檢測(cè)儀器。